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    107 光刻機視像自動對準系統

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    功能特點

    1) 實現自動獲取圖像,按照設定條件進行十字標識的位置獲??;

    2) 系統發出控制脈沖,模擬人手操作調節控制片平臺或版平臺移動;

    3) 對位精度在1um以內,20S內完成自動對位過程;

    4) 模擬曝光鍵、微調鍵功能;
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    產品詳情

     1.1 簡介

       采用工業相機配合視覺軟件實現MICRALIGN 400,500,600,700系列光刻機的自動對位。改造后自動控制系統與機臺原有操控系統兼容,可自由切換。系統可接入車間生產管理平臺,自動下載工藝參數,上傳機臺動作數據。改造方便,性價比高。

     1.2 功能特點

      1) 實現自動獲取圖像,按照設定條件進行十字標識的位置獲??;

      2) 系統發出控制脈沖,模擬人手操作調節控制片平臺或版平臺移動;

      3) 對位精度在1um以內,20S內完成自動對位過程;

      4) 模擬曝光鍵、微調鍵功能;

      5) 人工調節操縱桿對位和自動視像對位功能切換;

      6) 實現智能自動對位規則、數據、圖片截圖保存;

      7) 記錄自動曝光片數、花籃位置、光刻版統計、樣片提醒功能;

      8) 可以根據設定的曝光片數加工,數量到達后發出報警并自動切換到人工對位。人工曝光完成后,再自動切換回自動對位曝光。

      9) 支持掃碼槍掃碼輸入,自動定位視像存儲和查詢,數據可上傳到MES系統,可以讀取MES系統數據實現自動錄單和光刻版號和批號的對比功能,識別加工設備、光刻版管理功能。

      10) 模擬設備上數字小鍵盤功能。(實現設定曝光量,調節機偏功能)。

      11) 報警功能:25S內無法完成對位報警提示,大于75分貝語音提醒。

      12) 具有分級管理權限,使用界面和維修、工藝、程序界面隔離。

      13) 具有緊急停止中斷功能,具備緊急按鈕。

      14) 更換品種后對準識別圖形自動更換。

      15) 加工批次連接MES,建立文件夾自動儲存批次光刻版信息等加工信息以EXCEL文件保存,方便查詢。

      16)實現250的機偏調整功能。

      17)具備標識圖形和對準圖形的對準中心識別功能。

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    功能特點

    1) 實現自動獲取圖像,按照設定條件進行十字標識的位置獲??;

    2) 系統發出控制脈沖,模擬人手操作調節控制片平臺或版平臺移動;

    3) 對位精度在1um以內,20S內完成自動對位過程;

    4) 模擬曝光鍵、微調鍵功能;
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     1.1 簡介

       采用工業相機配合視覺軟件實現MICRALIGN 400,500,600,700系列光刻機的自動對位。改造后自動控制系統與機臺原有操控系統兼容,可自由切換。系統可接入車間生產管理平臺,自動下載工藝參數,上傳機臺動作數據。改造方便,性價比高。

     1.2 功能特點

      1) 實現自動獲取圖像,按照設定條件進行十字標識的位置獲??;

      2) 系統發出控制脈沖,模擬人手操作調節控制片平臺或版平臺移動;

      3) 對位精度在1um以內,20S內完成自動對位過程;

      4) 模擬曝光鍵、微調鍵功能;

      5) 人工調節操縱桿對位和自動視像對位功能切換;

      6) 實現智能自動對位規則、數據、圖片截圖保存;

      7) 記錄自動曝光片數、花籃位置、光刻版統計、樣片提醒功能;

      8) 可以根據設定的曝光片數加工,數量到達后發出報警并自動切換到人工對位。人工曝光完成后,再自動切換回自動對位曝光。

      9) 支持掃碼槍掃碼輸入,自動定位視像存儲和查詢,數據可上傳到MES系統,可以讀取MES系統數據實現自動錄單和光刻版號和批號的對比功能,識別加工設備、光刻版管理功能。

      10) 模擬設備上數字小鍵盤功能。(實現設定曝光量,調節機偏功能)。

      11) 報警功能:25S內無法完成對位報警提示,大于75分貝語音提醒。

      12) 具有分級管理權限,使用界面和維修、工藝、程序界面隔離。

      13) 具有緊急停止中斷功能,具備緊急按鈕。

      14) 更換品種后對準識別圖形自動更換。

      15) 加工批次連接MES,建立文件夾自動儲存批次光刻版信息等加工信息以EXCEL文件保存,方便查詢。

      16)實現250的機偏調整功能。

      17)具備標識圖形和對準圖形的對準中心識別功能。

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    浙公網安備 33019202000276號

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